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    XYZ三維壓電掃描臺，高負載，兼容高真空
    
            
    簡要描述：SH30.xyz.C，XYZ三維壓電掃描臺，高負載，兼容高真空
    緊湊型 “SH 系列“ 高負載系列
    
            
      
                
    • 產(chǎn)品型號：SH30.xyz.C
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    • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
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    • 更新時間：2025-12-12
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    • 訪  問  量：3369
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    詳細介紹
    
            
    
            	
    壓電·三維掃描運動 SH30.xyz.C
    ? 針對精密光學、半導體表征等“3自由度掃描運動"需求的定制解決方案


    • 三維度XY掃描運動 30 um x 30 um x 15 um；
    • 外形尺寸，160 mm x 160 mm x 35 mm；
    • 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 0.3 nm；
    • 最大負載10 kg；
    • 支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級；

    XYZ三維壓電掃描臺，高負載，兼容高真空——詳細參數(shù)：


    XYZ三維壓電掃描臺，高負載，兼容高真空——尺寸圖：
    XYZ三維壓電掃描臺，高負載，兼容高真空

    多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含：
    S —— 掃描標準系列；
    SD —— 高動態(tài)系列；
    SH —— 高負載系列。
    S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。






     
            
    
            
            
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                請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7
            
      
		
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